- Tytuł:
-
Modelowanie zjawiska rozpraszania światła w skaterometrii nierówności powierzchni
Modelling of Light Scattering Phenomenon in Scatterometry of Rough Surfaces - Autorzy:
- Łukianowicz, C.
- Tematy:
-
modelowanie
rozpraszanie światła
powierzchnie chropowate
modelling
light scattering
rough surfaces - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł