- Tytuł:
- TEM characterization of polysilicon and silicide fin fabrication processes of FinFETs
- Autorzy:
- Ratajczak, J.
- Współwytwórcy:
-
Reckinger, N.
Tang, X.
Larrieu, G.
Czerwinski, A.
Łaszcz, A.
Kątcki, J.
Yarekha, D. A.
Dubois, E. - Data publikacji:
- 2009
- Dostawca treści:
- Academica
Artykuł