- Tytuł:
- Kształtowanie właściwości warstw NCD z zastosowaniem trawienia jonowego jako obróbki wstępnej w metodzie RF PACVD = The NCD layer properties designed through ion etching pre-treatment in the RF PACVD method
- Autorzy:
- Grabarczyk, Jacek
- Data publikacji:
- 2012
- Dostawca treści:
- Academica
Artykuł