- Tytuł:
- Analysis Of Factors Affecting Gravity-Induced Deflection For Large And Thin Wafers In Flatness Measurement Using Three-Point-Support Method
- Autorzy:
-
Liu, H.
Dong, Z.
Kang, R.
Zhou, P.
Gao, S. - Tematy:
-
flatness measurement
large and thin silicon wafer
GID
three-point-support method
initial stress - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2015
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł