- Tytuł:
-
Wytwarzanie ultra cienkich warstw z wykorzystaniem line 440 sputtering system
Ultra thin layer preparation with using the line 440 sputtering system - Autorzy:
-
Lubańska, Z.
Grudniewski, T.
Chodyka, M. - Tematy:
-
elektronika
sputtering magnetronowy
plazma
electronic
magnetron sputtering
plasma - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2015
- Wydawca:
- Instytut Naukowo-Wydawniczy TTS
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł