- Tytuł:
- Trawienie plazmowe cienkich warstw Ti3 SiC2
- Współwytwórcy:
-
Instytut Technologii Elektronowej
Wzorek, Marek
Borysiewicz, Michał A.
Korwin-Mikke, Katarzyna
Ekielski, Marek
Kruszka, Renata - Data publikacji:
- 2009
- Dostawca treści:
- Academica
Artykuł