- Tytuł:
- Wpływ parametrów procesu PACVD na budowę i właściwości synergicznych układów SiCxNy(H)/Ti = Influence of PACVD parameters on structure and properties of synergic SiCxNy(H)/Ti system
- Współwytwórcy:
-
Kluska, Stanisława
Jonas, Stanisława
Małek, Anna
Zimowski, Sławomir
Konefał, Jadwiga - Data publikacji:
- 2010
- Język:
-
polski
angielski - Prawa:
-
http://www.europeana.eu/rights/rr-r/
Publikacja chroniona prawem autorskim - reprodukcja cyfrowa dostępna w czytelniach BN i na terminalach Academiki - Źródło:
- Biblioteka Narodowa
- Dostawca treści:
- Academica
- Artykuł