- Tytuł:
- Properties and Characterization of ALD Grown Dielectric Oxides for MIS Structures
- Autorzy:
-
Gierałtowska, S.
Sztenkiel, D.
Guziewicz, E.
Godlewski, M.
Łuka, G.
Witkowski, B. S.
Wachnicki, Ł.
Łusakowska, E.
Dietl, T.
Sawicki, M. - Tematy:
-
81.15.Gh
77.55.-g
77.84.Bw
81.05.Ea - Data publikacji:
- 2011-05
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Język:
- angielski
- Prawa:
- Wszystkie prawa zastrzeżone. Swoboda użytkownika ograniczona do ustawowego zakresu dozwolonego użytku
- Źródło:
-
Acta Physica Polonica A; 2011, 119, 5; 692-695
0587-4246
1898-794X - Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
- Artykuł