- Tytuł:
- Nanoscale Pattern Definition by Edge Oxidation of Silicon under the $Si_{3}N_{4}$ mask - PaDEOx
- Autorzy:
-
Zaborowski, M.
Grabiec, P.
Dobrowolski, R.
Panas, A.
Skwara, K.
Szmigiel, D.
Wzorek, M. - Tematy:
-
68.65.-k
74.78.-w
81.16.Nd
81.16.Rf
81.65.Cf - Pokaż więcej
- Data publikacji:
- 2009-12
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł